IT之家最新公开信息显示,IT之家 11 月 2 日消息,日本卫浴大厂 TOTO(东陶)当地时间 10 月 30 日宣布将在其福冈丰前生产基地内 新建一座总建筑面积 3.6 万平方米的生产设施 ,总投资 600 亿日元 (IT之家注:现汇率约合 25.35 亿元人民币) ,预计 2029 财年上半年投产。 这座新工厂将 制造新一代静电吸盘和气溶胶沉积 (AD) 薄膜 ,两者均面向半导体制造中的蚀刻工艺,拥有出色的等离子体腐蚀耐受性能。 ▲ 静电吸盘 ▲ 气溶胶沉积薄膜 TOTO 还将在位于大分中津的两家工厂购置下一代 AD 组件的量产设备。这部分投资额约为 110 亿日元 (现汇率约合 4.65 亿元人民币) ,预计 2028 财年投产。
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